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圍繞美西方在半導體領域針對并打壓中方的行徑,日前荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)也做出了回應,拿定主意要繼續遵守美方的禁令。
6日,針對“將向中國推出特別版DUV光刻機”的傳言,荷蘭光刻機巨頭阿斯麥方面做出回應,強調阿斯麥一直都遵守所適用的法律條例,并未向中國推出特別版的光刻機,值得注意的是,此時正是美財長耶倫訪華并與華會談開始前。
DUV光刻機,即“深紫外光刻機”,是當下全球光刻機領域當中一種比較先進的光刻機,但在精度上對比EUV即極紫外光刻機略有不如。我們知道,美國為了打壓中國半導體產業鏈的發展,很早就下達了禁令,不準荷蘭對華出口EUV光刻機,近年美國又更進一步,連DUV也不讓出口了,引發熱議。