環球觀熱點:機器人(300024.SZ):半導體裝備業務產品主要為自主研發的真空機械手及集束型設備

2023-05-24 20:53:31 來源:格隆匯

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(資料圖片僅供參考)

格隆匯5月24日丨有投資者在互動平臺向機器人(300024)(300024.SZ)提問,公司是否涉及高端半導體裝備領域?目前進展如何?

公司回復:公司半導體裝備業務產品主要為自主研發的真空機械手及集束型設備,包括:大氣機械手、真空機械手等系列產品、EFEM、真空傳輸平臺,主要應用在刻蝕、CVD、PVD、CMP、Descum、立式爐等工藝環節及領域,服務的下游行業是半導體工藝設備廠商。

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責任編輯:ERM523

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